日前，清华大学工程物理系技术物理研究所利用离心分离技术获得了同位素纯硅-28，并与本校微电子所合作，在普通硅片上外延成单晶状硅-28薄膜，并采用这种特殊的硅片研制出两种基本的微电子元件，产品的相关特性正在测试当中。

    据了解，目前用于半导体集成电路制造的硅片均由天然硅制成。而根据中子数的不同，天然硅又可进一步分为硅-28(约占92%)、硅-29(约占5%)和硅-30，此次获得的是同位素纯硅-28，其含量大于99%。由于同位素纯硅的微观结构比天然硅更加整齐，所以在半导体制造过程中更能显示出优越的特性。

    据专家介绍，利用硅-28制成的半导体器件可望有更好的散热性、更快的速度，并可承受更高的功率。因为硅-28没有核自旋，这样的硅片在量子计算研究、新型传感器以及换能器研究中具有重要价值。

    另据了解，国际上在这方面的研究刚刚开始，清华大学研制出的同位素纯硅外延片在国内尚属首次。