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高价格GaN衬底实现高性能
  时间:2004-7-14  21:44:39    来源:1    作者:1【字体: 】【收藏】【关闭
    根据Richard Stevenson的报道,目前只有少数公司生产GaN衬底,价格昂贵,很难批量生产。据Strategies Unlimited调查,2003年GaN的市场价值为13.5亿美元,2007年估计为45亿美元,其中GaN基LEDs为40亿美元;Laser市场约占4亿美元;其它电子器件为1.29亿美元。
    和GaAs等材料不同,GaN材料通常是生长在异质衬底,例如蓝宝石(Al2O3) 和 SiC上面的,这样不仅造成成本的增加,并且在异质衬底上由于晶格,热膨胀系数的差异使晶体产生高密度缺陷,导致器件性能变差。而传统的体材料生长方法,例如Czochralski 和Bridgeman技术都不适用于GaN生长。
    目前,Cree、Kyma、TopGaN和Sumitomo Electric等少数公司利用气相外延的方法生长GaN衬底。但是Wafer尺寸小,而且价格昂贵,看起来目前LEDs等器件工艺还是在蓝宝石上进行。

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